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MEMS傳感器是探測(cè)和檢測(cè)物理、化學(xué)、生物等現(xiàn)象和信號(hào)的器件。特征尺寸,一般在0 1微米至100微米范圍之內(nèi)。2022年我國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模達(dá)
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