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大家好,射頻微電子,關(guān)于射頻微電子的簡介很多人還不知道,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!
1、中國科學(xué)院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)。
2、1985年研制成功。
3、獲得“六五”攻關(guān)榮譽證書以及“FD-2反應(yīng)離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。
本文關(guān)于射頻微電子的簡介就講解完畢,希望對大家有所幫助。
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