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1、微機電系統(MEMS)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置,是一個獨立的智能系統,主要由傳感順、作動器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。
2、MEMS技術的出現開辟了一個全新的領域和產業(yè)。
3、它們具有許多傳統傳感器無法比擬的優(yōu)點,因此在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)控和軍事等領域都有著十分廣闊的應用前景。
本文關于mems傳感器的簡介就講解完畢,希望對大家有所幫助。
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